根據(jù)關(guān)鍵元件的工作方式的不同，氣體質(zhì)量流量傳感器大致可以分為科里奧利流量傳感器；基于熱學(xué)原理的質(zhì)量流量傳感器：包括熱分布型、熱損失型和熱脈沖型；差壓式質(zhì)量流量傳感器等。下面對(duì)這些傳感器的工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)做簡(jiǎn)單的介紹。
（１）熱式質(zhì)量流量傳感器
熱式傳感器的工作原理是：通過外加熱源將傳感器的感溫電阻加熱使其溫度高于環(huán)境溫度，當(dāng)有氣流通過時(shí)，氣流的運(yùn)動(dòng)會(huì)帶走感溫電阻上的熱量，使得感溫電阻的溫度降低，通過測(cè)量感溫電阻溫度的變化來推算出所求的氣體質(zhì)量流量，即通過傳感器將氣流的變化轉(zhuǎn)換為溫度的變化。
（２）科里奧利式
科里奧利式質(zhì)量流量傳感器是對(duì)科里奧利力的具體運(yùn)用，當(dāng)有氣體流經(jīng)一個(gè)旋轉(zhuǎn)的管道時(shí)會(huì)在管道內(nèi)形成和質(zhì)量流量相關(guān)的科里奧利力，通過測(cè)量旋轉(zhuǎn)管道中氣流產(chǎn)生的科氏力就可以直接獲得氣體的質(zhì)量流量。科氏傳感器由于本身工作原理的特殊性具有測(cè)量準(zhǔn)確性高，復(fù)現(xiàn)性高，測(cè)量量程大，同時(shí)也可以測(cè)量各種性質(zhì)的液體流量等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于石油、化工、制藥等工業(yè)領(lǐng)域，但是科氏傳感器存在重量和體積較大、對(duì)外界的震動(dòng)干擾較為敏感等缺點(diǎn)，應(yīng)用領(lǐng)域有一定的限制。
（３）壓差式
壓差式流量傳感器一般是由一對(duì)安置于一個(gè)縮小口徑兩側(cè)的節(jié)流件組成的傳感器，通過測(cè)量?jī)蓚?cè)的壓力差來獲得被測(cè)流量的體積流量，再通過體積流量和質(zhì)量流量之間的轉(zhuǎn)化關(guān)系最終獲得流量的質(zhì)量流量。壓差式流量傳感器是質(zhì)量守恒定律和能量守恒定律的具體應(yīng)用。從傳統(tǒng)的孔板式流量計(jì)到現(xiàn)在的塔型流量計(jì)，壓差式流量計(jì)己經(jīng)有上百年的發(fā)展歷史，也被廣泛應(yīng)用于工業(yè)、能源、交通、環(huán)境等各個(gè)領(lǐng)域。壓差式流量傳感器的不斷優(yōu)化不僅代表了工業(yè)水平的不斷進(jìn)步，更代表了人類對(duì)科學(xué)技術(shù)的更高追求，相信隨著微電子和ＭＥＭＳ行業(yè)的不斷發(fā)展，壓差式流量傳感器一定有更廣闊的發(fā)展空間。
